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  • 发布时间:2025-04-23 09:31:52
  • 来源:

  金融界2025年2月22日音尘,国度学问产权局新闻显示,TES股份有限公司申请一项名为“基板治理安装以及基板治理手段”的专利,公然号CN 119495599 A,申请日期为2024年8月。

  专利摘要显示,本出现涉及基板治理安装以及基板治理手段,更仔细地涉及正在根据基板或者根据基板工艺铺排所述基板的基座的倾斜角度或者倾斜偏向发作转化的境况下也也许将所述基板确凿地铺排于所述基座的中心部的基板治理安装以及基板治理手段。基板治理安装具备:腔室,供给对基板的治理空间;基座,修立于所述腔室内部,并被铺排所述基板且加热所述基板;呆板臂,将所述基板铺排到所述基座或将所述基板从所述基座取出;倾斜调治单位,调治所述基座的倾斜;以及限定部,限定所述倾斜调治单位的驱动,并对应于所述基座的倾斜而校正通过所述呆板臂正在所述基座铺排所述基板的名望。

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